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再联锁无效画面里打开“地络、料浆流量、料浆

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  升降手携车、砂浆搅拌桶、砂浆泵、442线切机、内六方扳手、剪线钳、电烙铁、周转料盒、橡胶手套、剪刀、工作灯。

  室温15~25℃(波动0.5℃/H)、相对湿度60%、冷却水、压缩空气

  6.1.2确认要切单晶的直径,长度(小于305mm)、切割厚度、所用钢丝的直径、剩余钢丝总量、导论主辊使用时间、主辊槽距、砂浆切割刀数、选定切割程序及参数。

  右侧线→RH#3→RH#4→RH#5→主辊→LH#6→LH#5→LH#4→LH#3→LH#2→LH#1→LH T#3→LH T#2→LH T#1→左侧线将线轮装配于放线轴上,并将线用胶带将两个主辊缠在一起并粘紧(做传动和载体用),然后将线头紧粘在胶带上手动转动主辊绕线并用钢板尺从进线端逐个将钢丝拨进槽里,直到布线mm后用布线胶带将新线粘住用剪刀将胶带后面的线剪掉并将线头粘牢防止自动绕线时线头松开,提高主辊转速直到新钢线.3 磨合

  将切割舱盖关上,并锁闭,进行双向走线分钟后停止走线,等机器完全停止后打开舱盖,检查主被动导线轮是否有跳线,砂浆有无杂质(由于现在砂浆已覆盖在线网上,所以要用手去触摸检查线从粘料室领出各机台带切料并核对随工单,并在随工单上标明左,右(双跟料)。上机切料前必须由本班班长进行复核并签字,防止错切。

  6.4.3用升降车将上好的棒料上升至机床上的夹具挫槽位置,对准并用手轻轻将料推入到夹具模内卡好,用钢板尺测量使两根硅棒的端面距离线mm并且前后都在线网内,然后用力矩扳手上好螺丝,锁紧夹具,锁紧夹具工作后用手轻轻摇动工件检查是否有松动,若有松动则不可开机。w66利来

  6. 4.4在“进给”画面下手动下降使待切硅棒轻轻压在线网上,设定基准零点。

  6.4.5对基准参考零点时,如果发现两根晶棒的高低有偏差(偏差值1mm)应将有偏差的晶棒退回。

  6.5.1检查放线轮是否符合切割长度要求,导线轮时间是否满足切割要求,导轮转动有无异常。

  6.5.7开机切割前检查程序,3寸用13号文件(需研磨的)6寸用3号文件,若用其他程序须技术部同意。

  6.5.8操作“定位”—“方式”—“图表”启动浆料系统,操作“温调”—“自动”(自动调节砂浆温度到设定值)慢速走丝,观察浆料管流沙状况,如发现堵塞断帘现象应马上清理,用手摸浆料看是否有较大颗粒,如发现有较大颗粒应马上换浆料。

  6.5.9关闭砂浆停止手动运行,全自动运行3分钟甩干砂浆检查是否有跳线并用手触摸主辊表面是否有硅渣,如发现硅渣应及时清理主辊,硅渣较多时要冲洗系统。

  6.5.10返回操作面板打开砂浆检查无断帘后,按“auto”键进行自动切割。

  6.5.11自动切割过程中认线打开并向上推起切割舱门,检查线网,观察棒料是否切选,严禁将料升起检查是否切透。“定位”—“方式”—“手动”关闭砂浆。再联锁无效画面里打开“地络、料浆流量、料浆温度、料浆热交”关闭温调“温调”—“停止”然后在进给画面里手动提升料(整个过程要稳慢以免将线使用装卸料推车,把切好的料送到冲洗槽进行冲洗,整个过程要小心轻放。

  6.6.3冲洗过程中必须前后移动2次棒料,使硅片与硅片间被水冲开,每个硅片都可以被冲洗干净,每次冲洗时间为20分钟。

  6.7.1检查线网上有无残留的渣子(用手抚摸整个线网),然后全自动运行将线网上的砂浆甩干,修复线网跳线。清理砂浆喷嘴,过滤网并用聚乙二醇洗过。

  6.7.2清理线切机回收仓内碎硅片,并集中放置于回收筐内(不同型号和尺寸的片子分开存放)。

  6.7.3更换砂浆,3寸4寸新砂浆前6刀不用更换,第7刀开始每3刀更换80-85kg新砂浆,30刀后更换全部砂浆,6寸方片,亲砂浆前两刀不用更换,第三刀开始每一刀更换80-85kg砂浆,每切十刀砂浆全部更换,全部更换砂浆时必须清洗干净砂浆罐并除去水分。

  6.7.5将酒精到于主辊上全自动运行清洗主辊2分钟后停止运行用手抚摸主辊检查主辊上是否渣子如没有就安装好砂浆管滤网,打开砂浆“定位”—“方式”—“自动”,打开联锁“地络、料浆流量、料浆温度、料浆热交”并打开温调。进行排砂手动运行线再全自动运行甩干砂浆检查无跳线换新砂浆时要启动机器过滤砂浆半小时,方可正式上棒开切。

  7.1 从粘料工序领出来的硅棒要仔细核对直径,,长度,重量,切片厚度,发现问题及时追溯,未能做好监督工作,与直接负责人负同样责任。

  7.5严禁将切过得硅片外漏空气中放置,尤其是对硅片,否则硅表面会出现砂浆干裂后沉积的印记。

  7.6在周转过程中必须将料放入盛料盒中,严禁空手拿取搬运,避免掉料损失。

  7.14砂浆配比,乙醇:sic=1:0:92(质量比) 砂在使用前必须烘干8小时,先加200kg乙醇并搅拌,再搅拌过程中陆续加入184kg1500#sic搅拌6小时方可使用。

  7.15停机后再次开机,要等一分钟后方可打开电源开关,再次开机,关机时让机器上所有马达处于停止运转状态,方可关掉电源,关掉电源后严禁在机台进行任何操作,短暂停机时,禁止关气关水,长时间停机时需要继续通气通水4个小时,方可停止供应。

  8.2根据现场情况进行挽救,收线轮断线,将线按好继续切割,放线剪线网时,从晶棒内侧理清要剪的那一部分线网,一首捏住要减掉的那一端,另一手用剪刀一次性并快速剪断此部分网线,剪完后将线从片内轻轻抽出,剪线网时不能有线采用重新切割方式。需要把晶棒提起,用水把刀缝冲洗干净并用压缩空气将水吹干。

  8.5将晶棒仔细插入新布好的线网并下降到断线打开砂浆等待温度到设定值手动启动主轴,启动进给继续切割。

  2、检查冷却水情况,要求冷却水温度最高不得超过12℃,水压为0.2Mpa(2公斤力)以上

  3、检查压缩空气,要求气压为0.4Mpa(4公斤力)以上,供气量不低于600NL/min(标准大气压下600升/分);

  4、在确认以上三项符合要求后打开总电源开关。打开电源总开关后,开启POWER键,等待屏幕上闪烁的初始化消失后,按下运转准备(OPERATION STAND BY)。

  6、停机后再次开机,要等显示屏左上角电源显示灯灭至少20S后方可打开电源开关再次开机。

  4、确认机器上所有马达处于停止运转状态,按下紧急停止按钮后再松开,按下复位键消除报警,关闭POWER键,然后关闭电源总开关。

  6、短暂停机时禁止关气、水,长时间停机时需继续通气、水4小时,方可停止供应。

  



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